レンタル装置ラインナップ
Line up for Rental

「研究・開発をよりスピーディに!」を目指し、自社製スピンコーターだけでなく、他社製装置のレンタルも可能です。お客様の研究開発、試験コーティングのスピードアップに寄与できるよう、より充実した品揃えと、いつでもお待たせすることなくご利用できるような体制を今後とも目指してまいります。  

ASC 200Ⅱ

ASC200Ⅱ

8インチ対応モデル。

ご準備が必要なユーティリティは、AC100Vのみ。 回転数、回転時間など各種パラメータが、それぞれ個別の入力の為、直感的に使いやすい仕様です。


装置スペック

型式 ASC 200Ⅱ
最大可能処理サイズ Φ8インチ(Φ200mm)、□150mm
回転数 50~6,000rpm
回転精度 ±0.2%/3,000rpm
カップ内径 Φ380mm
モーター 75W
試料固定 真空吸着法
ステップ数 3ステップ
プログラム数 1プログラム
真空ポンプ排気量 24L/min以上
真空ポンプ装置側接続 ワンタッチ接続
試料台材質  アルミ、テフロン等
廃液 カップ止め
非常停止ボタン 無し
真空チャック安全機構 あり
安全カバー電磁ロック 無し
真空ポンプ / 接続チューブ 附属(2m)
外形寸法(mm) ※1 W520×D625×H245
装置重量 ※2 50kg 
電源 AC100V 7A

※1 蓋閉時
※2 レンタル装置一式重量

附属ステージ(8インチ用)

8インチステージ
サイズ  8インチ
重量  792g
材質 アルミ

ASC150

ASC150

最大Φ6インチサイズ向けタッチパネルモデル。


装置スペック

型式 ASC 150
最大可能処理サイズ Φ6インチ(Φ150mm)、□100mm
回転数 0~5,000rpm
回転精度 ±1rpm以下(無負荷)
カップ内径 Φ192mm
モーター 200W
試料固定 真空吸着法
ステップ数 50ステップ
プログラム数 20プログラム
真空ポンプ排気量 20L/min以上
真空ポンプ装置側接続 ワンタッチ接続
試料台材質  アルミ、テフロン等
廃液 カップ止め
非常停止ボタン あり
真空チャック安全機構 あり
安全カバー電磁ロック あり
真空ポンプ / 接続チューブ 附属(1.8m)
外形寸法(mm) ※1 W300×D320×H325
装置重量 ※2 33kg 
電源 AC100V 15A

※1 蓋閉時
※2 レンタル装置一式重量

附属ステージ(試料台)

1インチ用

サイズ 1インチ 
重量 76g
材質 アルミニウム
表面 タフラム処理

4インチ用

サイズ 4インチ 
重量 254g
材質 アルミニウム
表面 タフラム処理

4インチ用

サイズ 4インチ 
重量 210g
材質 テフロン

6インチ用(アルミ)

サイズ 6インチ 
重量 380g
材質 アルミニウム
表面 タフラム処理

6インチ用(テフロン)

サイズ 6インチ 
重量 310g
材質 テフロン

ACT-300AⅡ

ACT-300AⅡ

株式会社アクティブ社製現行モデル(2020/4/23現在)

4インチアルミステージ付属


装置スペック

型式 ACT-300AⅡ
最大可能処理サイズ Φ6インチ(Φ150mm)、□100mm
回転数 0~6,000rpm
回転精度 ±1rpm以下(無負荷)
カップ内径 Φ297mm
モーター 200W
試料固定 真空吸着法
ステップ数 10ステップ
プログラム数 100プログラム
真空ポンプ排気量 12L/min以上
真空ポンプ装置側接続 ワンタッチ接続
試料台材質  アルミ、テフロン等
廃液 カップ止め
非常停止ボタン 無し
真空チャック安全機構 あり
安全カバー電磁ロック 無し
真空ポンプ / 接続チューブ 附属(3m)
外形寸法(mm)※1 W350×D450×H325
装置重量 ※2 35kg 
電源 AC100V 5A

※1 蓋閉時
※2 レンタル装置一式重量

附属ステージ(試料台)

4インチ用ステージ
サイズ 4インチ 
重量 156g
材質 アルミニウム
表面 タフラム処理
一インチ用ステージ
サイズ Φ1インチ(吸着部)
重量  65g
材質 アルミニウム
表面 タフラム処理
1インチ用ステージ
サイズ Φ10mm(吸着部)
重量  34g
材質 テフロン
スピンコート用治具
サイズ Φ40mm(吸着部)
重量  35g
材質 テフロン

レンタル装置 仕様比較表

型式 ASC 200Ⅱ ASC150 ACT-300AⅡ
最大可能処理サイズ  Φ8インチ(Φ200mm)、□150mm Φ6インチ(Φ150mm)、□100mm Φ6インチ(Φ150mm)、□100mm
回転数 50~6,000rpm 0~5,000rpm 0~6,000rpm
回転精度 ±0.2%/3,000rpm ±1rpm以下 (負荷時) ±1rpm以下 (負荷時)
カップ(内径) Φ380mm  Φ192mm

Φ297mm

モーター 75W 200W 200W
試料固定 真空吸着法 真空吸着法 真空吸着法
ステップ数 3ステップ 50ステップ 10ステップ
プログラム数 1プログラム 20プログラム 100プログラム
真空ポンプ排気量 24L/min以上 20L/min以上 12L/min以上
真空ポンプ装置側接続 ワンタッチ接続 ワンタッチ接続 ワンタッチ接続
試料台材質 アルミ、テフロン等 アルミ、テフロン等 アルミ、テフロン等
廃液 カップ止め カップ止め カップ止め
非常停止ボタン 無し あり 無し
真空チャック安全機構 あり あり あり
安全カバー電磁ロック 無し あり 無し
真空ポンプ / 接続チューブ 附属(2m) 附属(1.8m) 附属(3m)
外形寸法(mm)※1 W520×D625×H245 W300×D320×H325 W350×D450×H325
装置重量 ※2 50kg  33kg  35kg 
電源 AC100V 7A AC100V 15A AC100V 5A

 

※1 蓋閉時

※2 レンタル装置一式重量