用途事例
Application
基板
塗布液（感光剤）
- 高分子(ポリマー)
- 光触媒材料
- UVレジン(紫外線硬化樹脂)
- ポリイミド
- フォトレジスト(SU-8) ※日本化薬製
- フォトレジスト(OFPR) ※東京応化製
- フォトレジスト(AZ) ※Merck製
塗布液（コーティング材）
- 反射防止膜
- 防湿絶縁コーティング材
- フィルム材料
- 接着剤
- 熱硬化樹脂
塗布液（その他）
- Na・Mg
- エタノール混合液
- カーボン
- トルエン・キシレン
- SiO2(シリカ)膜形成用前駆体溶液
- ポリエチレンジオキシフェン(PEDOT)
- パーフロロポリエーテル
- ジクロロペンタフルオロプロパン(HCFC225)
- クロロホルム溶液
- シランカップリング剤
- MgOコーティング用前駆体溶液
- 3‐メトキシチオフェン
- MOD溶液
- PTFE-PVA複合薄膜形成用混合液
