スピンコーター ASC150Ⅲ
ASC150Ⅲ
Φ150mmに対応したタッチパネル操作モデル。
回転数もMAX5,000rpm、対応サイズΦ150mm。
各基材サイズに応じた試料台（治具）を用意すればこれ一台でカバー出来る装置です。
| 型式 | ASC 150Ⅲ |
| 最大可能処理サイズ | Φ6インチ（Φ150mm）、□100mm |
| 回転数 |
1～5,000rpm |
| 回転精度 | ±1rpm以下（無負荷） |
| カップ（内径） | 内径Φ200mm |
| カップ材質 | SUS製 |
| モーター | 200W |
| 試料固定 | 真空吸着法 |
| ステップ数 | 50ステップ |
| プログラム数 | 20プログラム |
| 表示パネル | 7インチタッチパネル表示 |
| 試料台材質 | アルミ、テフロン等 |
| 廃液 | カップ止め |
| 真空チャック安全機構 | あり |
| 蓋開閉インターロック機構 | あり |
| 真空ポンプ | 附属 |
| 外形寸法（mm） ※蓋閉時、突起部除く |
W360 × D440 × H327 |
| 装置重量 ※真空ポンプを除く | 約31kg |
| ユーティリティ | AC100V 2口（スピンコーター本体、真空ポンプ） |
| 消費電力 | 250W |
