スピンコーター ASC150Ⅱ
ASC150Ⅱ

ASC150Ⅱ

Φ150mmに対応したモデル。

対応ワークサイズが大きいために(塗布(塗工)面積)ステップを1段階多く刻める機能を持たせた3ステップの機種です。ワーク全面に懸滴させることから始めますが徐々に液量を少なくする時にステップが刻めます。


型式 ASC 150Ⅱ
最大可能処理サイズ Φ6インチ(Φ150mm)、□100mm
回転数

100~7,000rpm

回転精度 ±0.2%/3,000rpm
カップ(内径) 内径Φ270mm
カップ材質 SUS製
モーター 75W
試料固定 真空吸着法
ステップ数 3ステップ
プログラム数 1プログラム
表示パネル(タイマー) 0~999sec
表示パネル(回転数) 回転計4桁
試料台材質 アルミ、テフロン等
廃液 カップ止め
真空チャック安全機構 あり
真空ポンプ 附属
外形寸法(mm) ※蓋閉時 W395×D470×H240
装置重量 ※真空ポンプを除く 約23kg
電源 AC100V 7A