スピンコートについて
About Spincoat

スピンコーターとは？: ウェットコーティングの手法の一種で、塗布対象物を高速で回転させ遠心力を利用してコーティングする装置です。平面な塗布対象物に向いており、レンズやシリコンウェハーへのコーティングに用いられています。当社のご提供する装置は、真空チャック式の小型装置で、民間の研究所や大学等研究機関でご利用いただいています。
装置の選び方は？: ご使用される塗布対象物の最大サイズ、回転させる速度によりご選定出できます。塗布対象物の材質、形状によりステージ部分のカスタマイズが必要になることがあります。
スピンコーター試料台について: あすみ技研では、お客様のご要望にお応えするため、標準の試料台のご用意だけでなく、試料台の材質・形状のカスタマイズも承っております。特殊な形状のワークや塗布液に対応した試料台の製作も可能となりますので、お気軽にご相談ください。
ワークサイズの考え方は？: 右図のように、カップの内径で最大サイズが制限されます。当社のスピンコーターで処理可能な最大ワークサイズは8インチ(Φ200mm)となります。 ※厳密には余裕分を見ているため、若干サイズオーバーでも処理は可能です。
試料台の選定はどうしたらいいでしょうか？: ワークの材質・形状・重量、使用する塗布液によって、ワークの真空吸着が可能か、試料台の耐薬品性に問題がないか決まります。
例）ワーク：シリコンウェハ(6インチ) 　　塗布液：フォトレジスト試料台に載せられる形状でサイズが直径190mm以下→溝吸着タイプ金属に対して腐食性がない液→アルミ製 ※使用する塗布液にアルミが腐食する成分が含まれている場合、PTFE等の耐薬品性の優れている樹脂製の試料台となります。
ステップとは？: 回転数を変化して処理する数をいいます。
例えば、最初500rpm 2分、その後、3,000rpm 5分処理し、終了する場合は、『2ステップ』になります。
操作は簡単ですか？: ステップ毎に回転数や回転時間（キープ時間）の設定が分かり易いよう配置しています。初めてご利用される方でもストレス無しにご使用可能です。

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