スピンコートについて

スピンコーターとは?

ウェットコーティングの手法の一種で、塗布対象物を高速で回転させ遠心力を利用してコーティングする装置です。平面な塗布対象物に向いており、レンズやシリコンウェハーへのコーティングに用いられています。

当社のご提供する装置は、真空チャック式の小型装置で、民間の研究所や大学等研究機関でご利用いただいています。

what's spin coater

装置の選び方は?

ご使用される塗布対象物の最大サイズ、回転させる速度によりご選定出できます。塗布対象物の材質、形状によりステージ部分のカスタマイズが必要になることがあります。

select spincoater

スピンコーター試料台について

あすみ技研では、お客様のご要望にお応えするため、標準の試料台のご用意だけでなく、試料台の材質・形状のカスタマイズも承っております。特殊な形状のワークや塗布液に対応した試料台の製作も可能となりますので、お気軽にご相談ください。

 

試料台の詳細についてはこちら

テフロン製の試料台
※画像イメージはアルミ製の試料台

ワークサイズの考え方は?

右図のように、カップの内径で最大サイズが制限されます。

当社のスピンコーターで処理可能な最大ワークサイズは6インチ(Φ150mm)となります。

※厳密には余裕分を見ているため、若干サイズオーバーでも処理は可能です。

 

 

最大ワークサイズ

試料台の選定はどうしたらいいでしょうか?

ワークの材質・形状・重量、使用する塗布液によって、ワークの真空吸着が可能か、試料台の耐薬品性に問題がないか決まります。

 

例)ワーク:シリコンウェハ(6インチ)

  塗布液:フォトレジスト

 

試料台に載せられる形状でサイズが直径190mm以下→溝吸着タイプ

金属に対して腐食性がない液→アルミ製

 

※使用する塗布液にアルミが腐食する成分が含まれている場合、PTFE等の耐薬品性の優れている樹脂製の試料台となります。

 

シリコンウエハー画像

ステップとは?

あすみ技研のスピンコーターは、50ステップ20プログラム(パターン)の設定が可能です。

 

ステップについての詳細はこちら

 

ステップ、プログラム

操作は簡単ですか?

7インチの大画面タッチパネルへのレシピ入力で、回転数やステップの設定が可能です。

別画面への遷移も少なく、初めての方でもストレス無しに設定可能です。

 

レシピ入力の操作イメージはこちら

 

スピンコーター取扱説明書

装置の後始末は簡単ですか?

回転部分の外周部(インナーカップ)が取り外し可能で、スピンコーター使用後の洗浄も簡単です。

 

配管部分の洗浄など、煩わしい作業が不要です。

 

カップ取り外し

回転数と膜厚の関係式は?

理論値は右図の通りになります。

 

h0:初期厚さ、ω:回転数、ρ:溶液密度、t:時間、η:動的粘度

回転数と膜厚の関係式

膜の厚さ測定はどうすれば?

透過性のコート膜でしたら反射率分光膜厚計による膜厚測定が可能です。

こちらのレンタルも承っています。

about thicknessmeter

コーティング前に濡れ性を上げたい。

短波長の紫外線による濡れ性改質装置をご提案できます。

金属だけでなく、濡れ性の悪い樹脂の表面改質にもご利用可能です。

濡れ性を良くするには

コーティング前の濡れ性を確認したい。

ワーク表面の接触角を測定することにより、定量的に評価することが可能です。

ウェットプロセスによるコーティングはどのようなものがありますか?

スピンコート、ディップコート、ロールコート、スプレーコート、フローコートやスクリーン印刷などがあります。

スピンコーティングのデメリットは?

コーティングの為の液量は少なくて済みますが、実際に膜になる液量は少なく、大部分が無駄になります。

その為、量産の場合は、コーティング液にランニングコストが大きくなりがちです。