スピンコーター ASC200Ⅱ
ASC200Ⅱ

ASC200Ⅱ

Φ200mmに対応した上位モデル。

回転数もMAX7,000rpm、対応サイズもΦ200mm。

各基材サイズに応じた試料台(治具)を用意すればこれ一台でカバー出来る装置です。


型式 ASC 200Ⅱ
最大可能処理サイズ Φ8インチ(Φ200mm)、□150mm
回転数

100~6,000rpm

回転精度 ±0.2%/3,000rpm
カップ(内径) 内径Φ380mm
カップ材質 SUS製
モーター 75W
試料固定 真空吸着法
ステップ数 3ステップ
プログラム数 1プログラム
表示パネル(タイマー) 0~999sec
表示パネル(回転数) 回転計4桁
試料台材質 アルミ、テフロン等
廃液 カップ止め
真空チャック安全機構 あり
真空ポンプ 附属
外形寸法(mm) ※蓋閉時 W520×D520625×H245
装置重量 ※真空ポンプを除く 約35kg
電源 AC100V 7A