スピンコーター 基板及び塗布液使用事例

基板

  • シリコンウェハ
  • スライドガラス
  • 石英ガラス基板
  • ITO膜付きガラス基板
  • GGG単結晶基板(111)面または(100)面
  • Ni-Ti合金基板
  • サファイア基板
  • セラミック基板
  • フィルム

塗布液(感光剤)

  • 高分子(ポリマー)
  • 光触媒材料
  • UVレジン(紫外線硬化樹脂)
  • ポリイミド
  • フォトレジスト(SU-8) ※日本化薬製
  • フォトレジスト(OFPR) ※東京応化製
  • フォトレジスト(AZ) ※Merck製

塗布液(コーティング材)

  • 反射防止膜
  • 防湿絶縁コーティング材
  • フィルム材料
  • 接着剤
  • 熱硬化樹脂

 

塗布液(その他)

  •  Na・Mg
  • エタノール混合液
  • カーボン
  • トルエン・キシレン
  • SiO2(シリカ)膜形成用前駆体溶液
  • ポリエチレンジオキシフェン(PEDOT)
  • パーフロロポリエーテル
  • ジクロロペンタフルオロプロパン(HCFC225)
  • クロロホルム溶液
  • シランカップリング剤
  • MgOコーティング用前駆体溶液
  • 3‐メトキシチオフェン
  • MOD溶液
  • PTFE-PVA複合薄膜形成用混合液